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        三氟化磷(PF3)

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        產品詳情

         

         

        三氟化磷(PF3)



        化學式

        PF3

        中文名稱

        三氟化磷

        英文名稱

        Phosphorus  Trifluoride

        CAS No.

        7783-55-3

        分子量

        87.969

        充裝量


        應用

        發生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態磷離子注入源。

        三氟化磷是一種無機化合物,其化學式為PF3,在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體,液態時為無色透明液體,空氣中不太發煙,相當穩定,加熱時與氫反應生成PH3,能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。


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        廠房環境

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